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Effect of Nano-Colloidal Abrasive size on Removal Rate and Selectivity of Cu/TaN Film in Cu CMP
- 제목
- Effect of Nano-Colloidal Abrasive size on Removal Rate and Selectivity of Cu/TaN Film in Cu CMP
- 저자
- 백운규
- 발행일
- 2005-05-27
- 학회명
- 한국재료학회 춘계학술발표대회
- 개최지
- 무주리조트 티롤호텔