Nano Ceria CMP Slurry for the Fabrication of Floating Gates in MLC NAND Flash Memory Below 51nm

제목
Nano Ceria CMP Slurry for the Fabrication of Floating Gates in MLC NAND Flash Memory Below 51nm
저자
백운규
발행일
2010-10-21
학회명
2010 한국세라믹학회 추계학술대회
개최지
제주국제컨벤션센터