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ECR plasma etching을 이용한 2차원 photonic crystal structure 제작 및 특성평가에 관한 연구

제목
ECR plasma etching을 이용한 2차원 photonic crystal structure 제작 및 특성평가에 관한 연구
저자
안진호
발행일
2004-11-05
학회명
2004년 한국재료학회
개최지
인하대학교

ScholarWorks@한양대학교

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