고에너지 질소이온주입시 실리콘의 전기적 특성에 관한 연구

  • 박재근
제목
고에너지 질소이온주입시 실리콘의 전기적 특성에 관한 연구
저자
박재근
발행일
2001-10-19
학회명
2001년 가을학술논문발표회
개최지
광주 전남대