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CF3I 플라즈마의 SiO2 박막 에칭 효과

  • 박재근
제목
CF3I 플라즈마의 SiO2 박막 에칭 효과
저자
박재근
발행일
2019-05-09
학회명
2019년 춘계학술대회 반도체&디스플레이산업 지속성장을 위한 기술혁신 전략

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