The Effects of Argon Gas flow on the Czochralski Silicon Crystal Growth by Numerical Simulation

  • 박재근
제목
The Effects of Argon Gas flow on the Czochralski Silicon Crystal Growth by Numerical Simulation
저자
박재근
발행일
2007-05-10
학회명
2007년도 한국재료학회 춘계학술대회 및 제12회 신소재 심포지엄
개최지
무주리조트 티롤호텔