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Si(100)의 얇은 산화막을 통한 CoSi2형성에 관한 연구

  • 전형탁
제목
Si(100)의 얇은 산화막을 통한 CoSi2형성에 관한 연구
저자
전형탁
발행일
1997-05-01
학회명
한국재료회,춘계학회:13

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