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Crystalline Structure of Ceria Particles Controlled by the Oxygen Partial Pressure and STI CMP Performances
- 제목
- Crystalline Structure of Ceria Particles Controlled by the Oxygen Partial Pressure and STI CMP Performances
- 저자
- 백운규
- 발행일
- 2007-06-12
- 학회명
- JEJU 2007ISPM
- 개최지
- 라마다 호텔, 제주도