PSD를 이용한 AFM용 미세 탐촉자의 변위측정장치

초록

원자력간 현미경 (AFM)의 핵심이 되는 칸틸레버의 미세 변위 측정 장치를 레이저와 PSD (Position Sensitive Detector)를 이용하여 구현하고 그 성능을 평가하였다. 주요 광학계의 설계 방향을 제시하였으며 50nm의 단차를 측정하여 상용장치의 측정결과와 비교한 결과 5nm의 차이로 잘 일치함을 보였다.