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원자층 증착법으로 형성한 TiN 박막의 특성 연구

  • 전형탁
제목
원자층 증착법으로 형성한 TiN 박막의 특성 연구
저자
전형탁
발행일
1999-05-01
학회명
한국 재료학회 춘계 학술대회
개최지
금오공대

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