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stochastic simulation을 통한 contact hole 패턴의 photon shot noise effect 정량화

제목
stochastic simulation을 통한 contact hole 패턴의 photon shot noise effect 정량화
저자
안진호
발행일
2013-10-25
학회명
친환경 전자재료 및 나노기술 학술대회(ENGE2013)
개최지
광주 김대중컨벤션센터

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