화학 증기 수송법에 의해 증착된 금속 Mo 박막의 전기적 특성

초록

몰리브댄 금속박막(Metal Mo)은 우수한 전기 전도도로 인해 CulnSe2로 대표되는 l-lll-Vl2족 화합물 반도체 박 막태양전지에서 후면전극으로 널리 이용되고 있는 재료로서 일반적인 증착방법으로CVD ， PVD, Thermal evaporation ，Sol-gel 등이 있으며，이중에서 Sputtering에 의한 증착법이 주로 사용되고 있다. 이에 본 연구에서는 Mo03분말의 수소 환원 과정 중에 발생하는 기상인 Mo03(OH)2 기상의 화학증기수송 (CVT)를 이용하여 MoO3 박막을 증착하고 다시 수소분위기에서 수소 환원하는 증착법을 통해 균일하고 부착성 이우수한 Mo 박막을 제조 하였다. 550oC. 60min 의 유지시간에서 약 900nm 의 균일한 MoOx 박막을 증착하였으 며 ， 650oC, 15min 의 환원조건에서 모두 금속 몰리브댄 박막으로 상변화 함을 XRD와 SEM 을 통해 확인하였다 본 연구에서 사용된 화학증기수송에의한 박막 중착은 기존의 공정에 비해 매우 저렴하며， 반응중에 유해하지 않은 부산물로 인해 환경 친화적이며 또한 대형화가 가능한 공정으로 많은 응용이 기대된다