Characteristics of IGZO Thin Films Treated by Thermal Vacuum Annealing

제목
Characteristics of IGZO Thin Films Treated by Thermal Vacuum Annealing
저자
안진호
발행일
2016-10-25
학회명
The 15th International Symposium on Microelectronics and Packaging
개최지
대한민국 서울 코엑스