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Vertically tailored hybrid multilayer EUV photoresist with vertical molecular wire structure
- 제목
- Vertically tailored hybrid multilayer EUV photoresist with vertical molecular wire structure
- 저자
- 안진호
- 발행일
- 2024-02-28
- 학회명
- 2024 SPIE Advanced Lithography + Patterning
- 개최지
- 미국