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초록
최근 반도체 검출을 위하여 위상 복원 알고리즘을 이용하는 Coherent Diffractive Imaging (CDI) 기술이 사용되고 있으며, 이를 넓은 범위에서 수행할 수 있는 타이코그라피(ptychography)에 대한 연구도 진행되었다. 본 논문에서는 타이코그라피 알고리즘 중 하나인 pcPIE 알고리즘과 Superresolution Imaging 알고리즘을 결합시킨, 광원의 조사 위치 변화에 강인하면서도 높은 해상도를 가지는 위상 복원 알고리즘을 제안하고, 해당 알고리즘을 이용하여 기존 알고리즘보다 위상 복원의 오차를 감소시켰다.
- 제목
- Superresolution과 pcPIE를 이용한 고해상도 위상 복원 알고리즘
- 저자
- 김회율; 신승혁; 우동곤; 김영웅; 윤대현; 조훈; 안진호
- 발행일
- 2017-02
- 유형
- Proceeding
- 저널명
- Workshop on Image Processing and Image Understanding(IPIU) 2017
- 권
- 29
- 호
- 1
- 페이지
- 1 ~ 3