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Hf02 dielectrics을 이용한 reactive sputtering TaN gate electrod의 특성 분석

제목
Hf02 dielectrics을 이용한 reactive sputtering TaN gate electrod의 특성 분석
저자
안진호
발행일
2003-11-14
학회명
2003년도 한국마이크로전자 및 패캐징학회 추계 심포지움
개최지
서울시립대학교

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