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저유전상수 절연막 Polyimide의 SF6 플라즈마처리에 의한 특성 연구

제목
저유전상수 절연막 Polyimide의 SF6 플라즈마처리에 의한 특성 연구
저자
안진호
발행일
1999-02-09
학회명
제6회 한국 반도체 학술 대회

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