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LPCVD,PECVD,ECR plasma CVD를 이용한 SiNx막질의 비교

제목
LPCVD,PECVD,ECR plasma CVD를 이용한 SiNx막질의 비교
저자
안진호
발행일
1996-05-01
학회명
춘계 한국재료학회 학술대회

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