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Sputtering 공정조건에 따른 TiN의 전기적 특성 및 표면변화

  • 김은규
제목
Sputtering 공정조건에 따른 TiN의 전기적 특성 및 표면변화
저자
김은규
발행일
2005-08-18
학회명
제29회 한국진공학회 학술발표회
개최지
한국과학기술원

ScholarWorks@한양대학교

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