ScholarWorks@한양대학교

상세 보기

STI CMP용 세리아 슬러리의 Suspension pH가 CMP공정에 미치는 영향

제목
STI CMP용 세리아 슬러리의 Suspension pH가 CMP공정에 미치는 영향
저자
백운규
발행일
2003-04-18
학회명
2003 춘계 한국세라믹학회
개최지
경기대학교

ScholarWorks@한양대학교

(04763) 서울특별시 성동구 왕십리로 222 Tel. +82-2-2220-1370 +82-2-2220-1366

COPYRIGHT © 한양대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.