TaN-Al203-SiN-SiO2-Si 구조를 가진 flash 메모리 소자의 인접 셀 간거리 변화에 따른 셀 사이의 간섭 효과

  • 김태환
제목
TaN-Al203-SiN-SiO2-Si 구조를 가진 flash 메모리 소자의 인접 셀 간거리 변화에 따른 셀 사이의 간섭 효과
저자
김태환
발행일
2011-04-14
학회명
2011년(87회) 한국 물리학회 봄 학술 논문 발표회
개최지
대전 컨벤션센터 Korea