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Effect of annealing temperature on atomic layer deposition Zinc Tin oxide semiconductor thin film transistors
- 제목
- Effect of annealing temperature on atomic layer deposition Zinc Tin oxide semiconductor thin film transistors
- 저자
- 박진성
- 발행일
- 2014-06-17
- 학회명
- ALD 2014
- 개최지
- Kyoto, Japan