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RF-Magnetron Sputtering법에 의한 NO sputter gas를 이용한 N이 도핑된 ZnO 박막 성장

  • 김태환
제목
RF-Magnetron Sputtering법에 의한 NO sputter gas를 이용한 N이 도핑된 ZnO 박막 성장
저자
김태환
발행일
2004-04-23
학회명
2004년 봄학술논문발표회
개최지
Sungkyunkwan University, Suwon, Korea

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