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연속체 빔 이론을 이용한 MEMS accelerometer 모델링 및 성능특성 분석

MEMS accelerometer modeling and performance analysis by using continuous beam theory

김용일;
유홍희

제목: 연속체 빔 이론을 이용한 MEMS accelerometer 모델링 및 성능특성 분석

제목 (타언어): MEMS accelerometer modeling and performance analysis by using continuous beam theory

저자: 김용일; 유홍희

발행일: 2010-04

유형: Proceeding

저널명: 한국소음진동공학회 2010년도 춘계학술대회 논문집

페이지: 626 ~ 627