Al2O3 Thin Film Encapsulation by Ozone-based Atomic Layer Deposition

  • 전형탁
제목
Al2O3 Thin Film Encapsulation by Ozone-based Atomic Layer Deposition
저자
전형탁
발행일
2016-11-17
학회명
한국재료학회 추계학술대회
개최지
경주