Low temperature synthesis of carbon nanotubes using Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition(PECVD)

제목
Low temperature synthesis of carbon nanotubes using Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition(PECVD)
저자
홍진표
발행일
2001-02-22
학회명
International Symposium on Nano Device and Display Technology
개최지
연세대학교 이과대학(서울)