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SiO2/Si3N4/SiO2터널장벽을 갖는 WSi2나노입자 메모리소자의 전하누설 근원분석

  • 김은규
제목
SiO2/Si3N4/SiO2터널장벽을 갖는 WSi2나노입자 메모리소자의 전하누설 근원분석
저자
김은규
발행일
2010-08-20
학회명
제39회 한국진공학회 하계학술대회
개최지
보령비체팰리스

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