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Sub-quarter-micron 노광을 위한 X-선 마스크재료로서의 tantalum과 silicon carbide 물성에 관한 연구

제목
Sub-quarter-micron 노광을 위한 X-선 마스크재료로서의 tantalum과 silicon carbide 물성에 관한 연구
저자
안진호
발행일
1998-11-01
학회명
한국재료학회 추계학술대회

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