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다층의 터널 절연막층을 이용한 TiSi2 나노부유게이트 메모리소자의 전기적특성 분석

  • 김은규
제목
다층의 터널 절연막층을 이용한 TiSi2 나노부유게이트 메모리소자의 전기적특성 분석
저자
김은규
발행일
2009-10-22
학회명
2009년 한국물리학회 가을 학술논문발표회
개최지
창원컨벤션센터

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