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Co-sputtering법으로 증착한 Molybdenum 도핑된 Indium Oxide 박막의 특성변화 연구

  • 김은규
제목
Co-sputtering법으로 증착한 Molybdenum 도핑된 Indium Oxide 박막의 특성변화 연구
저자
김은규
발행일
2015-02-11
학회명
제48회 한국진공학회 동계정기학술대회
개최지
웰리힐리파크

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