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원자층 증착법을 이용하여 형성한 Al2O3 유전체를 이용한 Indium Gallium Zinc Oxide 박막 트랜지스터의 특성

  • 전형탁
제목
원자층 증착법을 이용하여 형성한 Al2O3 유전체를 이용한 Indium Gallium Zinc Oxide 박막 트랜지스터의 특성
저자
전형탁
발행일
2009-11-12
학회명
2009년도 추계 학술대회
개최지
서울산업대학교 서울테크노파크

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