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SBM 공정을 이용한 단일 실리콘 기판상에 제작된 병렬형 2축 가속도계

  • 허건수
제목
SBM 공정을 이용한 단일 실리콘 기판상에 제작된 병렬형 2축 가속도계
저자
허건수
발행일
2004-03-28
학회명
한국 MEMS 학술대회

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