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DC reactive sputtering을 이용한 고이동도, 고신뢰성의 a-ZnON TFTs 연구

제목
DC reactive sputtering을 이용한 고이동도, 고신뢰성의 a-ZnON TFTs 연구
저자
박진성
발행일
2015-06-22
학회명
2015 대한전자공학회 하계종합학술대회
개최지
제주 라마다호텔

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