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Effects of Calcination Process to Control the Abrasive Particles in Nano Ceria Slurry for STI CMP
- 제목
- Effects of Calcination Process to Control the Abrasive Particles in Nano Ceria Slurry for STI CMP
- 저자
- 백운규
- 발행일
- 2007-04-20
- 학회명
- 한국물리학회 2007년 봄 학술논물발표회
- 개최지
- 휘닉스파크