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초록
Effect of temperature, GeH4 gas pre-flow, gas ratio on formation of SiGe layer for strained Si
- 제목
- Effect of temperature, GeH4 gas pre-flow, gas ratio on formation of SiGe layer for strained Si
- 저자
- 박재근
- 발행일
- 2003-11-21
- 학회명
- 03년도 한국재료학회 추계학술대회 및 제1회 화합물반도체 심포지엄 논문개요집
- 개최지
- 연세대학교(KOREA)