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유기소스 원자층 증착법으로 증착된 TiN 박막의 특성 연구

  • 전형탁
제목
유기소스 원자층 증착법으로 증착된 TiN 박막의 특성 연구
저자
전형탁
발행일
2002-05-17
학회명
2002 한국재료학회 춘계학술발표대회
개최지
한양대학교(안산) 제1과학기술관 및 백남학술관

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