High performance In2O3 Thin Film Transistor on Polyimide Substrate via Atmospheric Pressure Spatial ALD

제목
High performance In2O3 Thin Film Transistor on Polyimide Substrate via Atmospheric Pressure Spatial ALD
저자
박진성
발행일
2023-08-23
학회명
IMID 2023
개최지
부산 해운대