Electrical characteristics of atomic layer deposition HfO2 High-k dielectric layer on Ge substrate

제목
Electrical characteristics of atomic layer deposition HfO2 High-k dielectric layer on Ge substrate
저자
안진호
발행일
2008-10-23
학회명
2008년도 대한금속, 재료학회 추계 학술대회
개최지
송도컨벤시아