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Thermal Chemical Vapor Deposition 법으로 성장된 MoS2 박막의 물리적 특성 분석

  • 김은규
제목
Thermal Chemical Vapor Deposition 법으로 성장된 MoS2 박막의 물리적 특성 분석
저자
김은규
발행일
2014-02-12
학회명
제46회 한국진공학회
개최지
보광피닉스파크

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