헤테로 반데르발스 에피택시 기법과 MOCVD 공법을 이용한 한 층의 단결정 MoS2 성장

제목
헤테로 반데르발스 에피택시 기법과 MOCVD 공법을 이용한 한 층의 단결정 MoS2 성장
저자
박원일
발행일
2019-08-14
학회명
제 57회 한국진공학회 하계정기학술대회
개최지
대명 비발디파크, 강원도 홍천, 대한민국