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스퍼터링 증착압력이 구리박막의 미세구조에 미치는 영향

  • 김영호
제목
스퍼터링 증착압력이 구리박막의 미세구조에 미치는 영향
저자
김영호
발행일
1996-05-01
학회명
96 한국전자현미경학회 춘계학술대회 초록집

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