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Surface Smoothness Improvement of Atomic Layer deposited HfO2 Film via Inserting Al2O3 Thin Film with Layer-by-Layer
- 제목
- Surface Smoothness Improvement of Atomic Layer deposited HfO2 Film via Inserting Al2O3 Thin Film with Layer-by-Layer
- 저자
- 안진호
- 발행일
- 2017-02-15
- 학회명
- The 24th Korean Conference on Semiconductors
- 개최지
- 강원도 대명비발디파크 메이플동 2층/3층