Computer generated phase mask를 이용한 격자 array 제작

초록

1 um 이상의 분해능을 갖는 하나의 위상형 마스크를 이용하여, 1nm 이하의 격자주기 차이를 갖는 격자 어레이를 하나의 기판에 동시에 제작할수 있는 방법을 제안하였다.