비점착성 SiO2 층을 이용한 나노임프린트용 템플릿 제작 연구

제목
비점착성 SiO2 층을 이용한 나노임프린트용 템플릿 제작 연구
저자
안진호
발행일
2005-11-10
학회명
2005년도 한국재료학회 추게학술발표대회
개최지
한양대학교