ScholarWorks@한양대학교

상세 보기

Study on Gettering Effect in Silicon Wafers Annealed with RTA

  • 전형탁
제목
Study on Gettering Effect in Silicon Wafers Annealed with RTA
저자
전형탁
발행일
2002-10-26
학회명
한국물리학회 창립50주년 기념식/심포지엄/학술발표회
개최지
서울 한양대학교

ScholarWorks@한양대학교

(04763) 서울특별시 성동구 왕십리로 222 Tel. +82-2-2220-1370 +82-2-2220-1366

COPYRIGHT © 한양대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.