상세 보기
Compositional and electrical modulation of niobium oxide thin films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition
- 제목
- Compositional and electrical modulation of niobium oxide thin films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition
- 저자
- 박진성
- 발행일
- 2017-11-24
- 학회명
- 반도체 디스플레이 공정, 장비 및 소재 신기술 동향
- 개최지
- 경기도 수원시 성균관대학교 자연과학캠퍼스