The impact of ALD ZrO2 gate insulators on Indium Tin Zinc Oxide (ITZO) thin film transistor applications

제목
The impact of ALD ZrO2 gate insulators on Indium Tin Zinc Oxide (ITZO) thin film transistor applications
저자
박진성
발행일
2018-07-30
학회명
8th International Conference on Atomic Layer Deposition and Atomic Layer Etching
개최지
대한민국 인천 송도