디스플레이 제조 식각공정에서 세라믹 코팅재료와 플라즈마 변수의 상호관계 연구

제목
디스플레이 제조 식각공정에서 세라믹 코팅재료와 플라즈마 변수의 상호관계 연구
저자
오성근
발행일
2016-05-03
학회명
2016 한국공업화학회 춘계 학술대회
개최지
여수 엑스포 컨벤션 센터