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Al2O3/HfO/Al2O3터널장벽 WSi2나노 부유게이트 커패시터의 전기적 특성

  • 김은규
제목
Al2O3/HfO/Al2O3터널장벽 WSi2나노 부유게이트 커패시터의 전기적 특성
저자
김은규
발행일
2010-08-19
학회명
제39회 한국진공학회 하계학술대회
개최지
보령비체팰리스

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