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전자빔 조사된 GaN 에피층의 결함분포에 특성 분석

  • 김은규
제목
전자빔 조사된 GaN 에피층의 결함분포에 특성 분석
저자
김은규
발행일
2008-08-21
학회명
제35회 한국진공학회 하계정기학술대회
개최지
라마다프라자 제주호텔

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